什麽是擴散爐？它有什麽用處？
發布時間：2018-08-25
擴散爐是集成電路生產線前工序的重要工藝設備之一，它的主要用途是對半導體進行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴散入矽片，從而改變和控製半導體內雜質的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區域。
擴散爐是半導體集成電路工藝的基礎設備，它與半導體工藝互相依存、互相促進、共同發展。
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